エネクトニュース

株式会社東芝（以下「東芝」）は6月20日、従来の約100分の1の電力消費量で水素ガスを検知するセンサーを開発したと発表した。この技術はMEMS（メムス：微少な電気機械システムの意）の国際会議で同日発表された。

地球温暖化防止対策の一環として、CO2排出量の少ないエネルギーの技術開発が活発に進められている。水素はそうしたエネルギーの1つとして有望視されているが、可燃性のガスであり、安全な使用のためには漏洩を速やかに検知するセンサーが必要だ。

従来のセンサーではセンシング動作に必要なヒーターの加熱のため、消費電力が比較的大きかった。東芝の新技術ではセンサーの膜にパラジウム系金属ガラスを用いた独自の構造を用いることで、ヒーターによる加熱を抑制した。

水素ガスを速やかに検知するためには頻繁な加熱が必要で、結果として消費電力が増大する。しかし新開発されたセンサーでは、消費電力が大幅に減少するが、検知感度は従来の水素センサーと同水準を保っている。

さらにこのセンサーは半導体製造ラインで生産することが可能で、低コストで大量生産できる見通しだ。東芝は今回得られた知見から製造工程の最適化を行い、2020年以降の実用化に向けて開発を続けていく方針だ。

（画像はプレスリリースより）

外部リンク

東芝　リリース
http://www.toshiba.co.jp/rdc/detail/1706_03.htm